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用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計數(shù)器"介紹
即使在無塵室中工作，異物的量也沒有減少。
雖然它是使用粒子計數(shù)器進行管理的，但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來。
我想創(chuàng)造一個干凈的環(huán)境，但不知道如何管理。
我們很難處理從衣服等引入的異物。
如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量，則應使用落塵計數(shù)器而不是顆粒計數(shù)器進行測量。
原因是：
① 導致附著異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無法用顆粒計數(shù)器測量。
② 大顆粒不會漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。
上面提到了兩個。
此外，ISO14644-17自2021年2月起頒布，可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標。（點擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關(guān)系）
因此，通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物。
這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。
利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。
它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估。
*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導體基板。
本機是專門利用硅片樣品對10μm至100μm粗顆粒進行分類和計數(shù)的測量設備。
對于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品。
建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物。
| DTSP10-02 | DTSP10-03 | ||
|---|---|---|---|
| 最小可測量粒徑 | 10μm | 10μm | |
| 粒度分級 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm 可在11～99μm*3范圍內(nèi)任意設定值 | |
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸*4) |
| 最大測量面積 | φ80mm | φ80mm | φ30mm |
| 修剪功能 | 是的 | 是的 | 沒有任何 |
| 顯示切換 | 沒有任何 | 有（可單獨顯示） | |
*3) 任意分類設定的閾值是從校準曲線中獲得的值，無法保證計數(shù)效率。
*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計數(shù)效率，對于 2 英寸區(qū)域無法保證計數(shù)效率，計數(shù)效率受到限制。
| ▼DTSP10-02 | ▼DTSP10-03 |
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