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ATOMAX二流體霧化噴頭AM6S-IST/AM12S-IST應(yīng)用分析

發(fā)布時(shí)間:2025-11-02 點(diǎn)擊量:107

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在半導(dǎo)體晶圓噴涂過(guò)程中,一滴不經(jīng)意的多余液滴或涂層不均勻都可能導(dǎo)致價(jià)值數(shù)萬(wàn)元的芯片報(bào)廢。這正是像ATOMAX這樣的精密二流體霧化噴嘴成為高精度制造領(lǐng)域不可少工具的原因。

其AM6S-IST和AM12S-IST型號(hào)憑借超細(xì)霧化能力和穩(wěn)定的性能,正在精密制造領(lǐng)域掀起一場(chǎng)技術(shù)革命。

01 核心技術(shù):突破傳統(tǒng)霧化極限

ATOMAX AM6S-IST和AM12S-IST噴嘴采用外部混合渦流式二流體霧化技術(shù),解決了傳統(tǒng)噴嘴在精密制造中的多項(xiàng)瓶頸

傳統(tǒng)噴嘴在處理高粘度液體時(shí)往往面臨堵塞風(fēng)險(xiǎn),而ATOMAX通過(guò)直通式流道設(shè)計(jì)和超大注射直徑,將堵塞可能性降至低

其液體流道直徑比傳統(tǒng)噴嘴大10-200倍,即使是含有固體顆粒的漿料或高粘度液體也能穩(wěn)定霧化。

這一創(chuàng)新結(jié)構(gòu)使AM6S-IST和AM12S-IST能夠產(chǎn)生平均粒徑約5μm的超細(xì)液滴,且粒徑分布極為均勻,為高精度涂層提供了基礎(chǔ)保障。

02 行業(yè)應(yīng)用:從半導(dǎo)體到醫(yī)療的精密覆蓋

半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體領(lǐng)域,AM6和AM12系列噴嘴應(yīng)用于晶圓制造的多道工序

在晶圓預(yù)清洗環(huán)節(jié),它們可將去離子水或弱堿性清洗液霧化成超細(xì)液滴,有效去除0.1μm以上的顆粒污染物,且不損傷晶圓表面。

測(cè)試表明,采用這些噴嘴的預(yù)清洗工藝可使晶圓表面顆粒污染物減少85%以上。

在光刻膠涂覆過(guò)程中,AM6S-IST和AM12S-IST通過(guò)精確控制光刻膠霧化,可在晶圓表面形成納米級(jí)均勻度的薄膜,厚度偏差控制在±1%以內(nèi)

醫(yī)療與制藥

在醫(yī)療領(lǐng)域,這些噴嘴用于藥品包衣、醫(yī)療器械表面處理和無(wú)菌環(huán)境消毒。

其超細(xì)霧化能力使藥液能夠均勻覆蓋在藥片表面,形成一致性高的包衣層,對(duì)于控制藥物釋放速率至關(guān)重要。

精密工業(yè)涂層

在汽車零部件和光學(xué)器件制造中,AM6S-IST和AM12S-IST實(shí)現(xiàn)了高性能表面涂層的精密噴涂。

無(wú)論是汽車零部件的高反射涂層還是光學(xué)鏡片的防反射涂層,這些噴嘴都能提供均勻細(xì)膩的噴涂效果。

03 實(shí)戰(zhàn)優(yōu)勢(shì):精度與效率的雙重提升

節(jié)能性能

與傳統(tǒng)噴嘴相比,AM6S-IST和AM12S-IST可減少15%-70%的壓縮氣體消耗

其低壓高效運(yùn)行特性進(jìn)一步降低了能耗,同時(shí)憑借自吸功能,在處理低粘度液體時(shí)甚至無(wú)需泵送設(shè)備。

無(wú)與比的防堵性能

對(duì)于使用高粘度液體或漿料的企業(yè)來(lái)說(shuō),噴嘴堵塞是常見(jiàn)的生產(chǎn)中斷原因。ATOMAX噴嘴的直通式結(jié)構(gòu)和超大孔徑設(shè)計(jì),解決了這一難題。

一家使用傳統(tǒng)噴嘴的企業(yè)曾需要每8小時(shí)停機(jī)清洗一次,換用ATOMAX后,維護(hù)間隔延長(zhǎng)至72小時(shí)。

靈活的材質(zhì)選擇

為適應(yīng)不同工作環(huán)境,AM6S-IST和AM12S-IST提供SUS316L不銹鋼、PEEK和PTFE等多種材質(zhì)選項(xiàng)。

在強(qiáng)腐蝕性的電鍍液霧化環(huán)境中,可選擇耐化學(xué)腐蝕的PTFE材質(zhì);而在需要高機(jī)械強(qiáng)度的場(chǎng)合,則可選用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。

04 選型指南:匹配應(yīng)用需求的精準(zhǔn)選擇

根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景的不同,在AM6S-IST和AM12S-IST之間做出合適選擇至關(guān)重要:

  • AM6S-IST更適合微量噴涂(低于1L/h)的場(chǎng)景,如實(shí)驗(yàn)室微量試劑噴涂、精密儀器防腐蝕等

  • AM12S-IST則適用于需要更寬噴霧覆蓋但仍保持高精度的場(chǎng)合

對(duì)于高粘度/含固液體(如陶瓷漿料、3D打印材料),可優(yōu)先考慮ATOMAX系列。

而在強(qiáng)腐蝕環(huán)境中(如電鍍、酸洗),應(yīng)選擇特殊材質(zhì)版本。

在空間受限的應(yīng)用中,AM6S-IST的超緊湊設(shè)計(jì)(內(nèi)徑<10mm)顯示出明顯優(yōu)勢(shì)。

05 應(yīng)用局限與應(yīng)對(duì)策略

盡管AM6S-IST和AM12S-IST性能,但也存在一定的局限性:

  • 價(jià)格較高,在預(yù)算敏感型項(xiàng)目中可能不如中國(guó)本土品牌有競(jìng)爭(zhēng)力

  • 在超大規(guī)模工業(yè)噴涂中,可選型號(hào)相對(duì)有限

  • 對(duì)氣體壓力穩(wěn)定性要求較高,供氣波動(dòng)可能導(dǎo)致粒徑分布不均

  • 特殊材質(zhì)噴嘴(如PEEK/PTFE)的機(jī)械強(qiáng)度較低,在高磨損環(huán)境中壽命可能較短

針對(duì)這些局限,用戶可在不需要超細(xì)霧化的常規(guī)應(yīng)用中選擇性價(jià)比更高的替代品牌,而在關(guān)鍵的高精度工序中保留ATOMAX噴嘴。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向更小制程、更高集成度發(fā)展,以及醫(yī)療設(shè)備表面處理要求的不斷提高,對(duì)精密霧化技術(shù)的需求將與日俱增

AM6S-IST和AM12S-IST這類高精度霧化噴嘴,已成為高品質(zhì)制造領(lǐng)域不可少的核心組件。


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