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日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

產(chǎn)品型號:

所屬分類:隔震臺

產(chǎn)品時間:2024-09-08

簡要描述:日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型
我們在地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時,還可以在短時間內(nèi)同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

詳細(xì)說明:

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。

高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行,而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

我們在地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時,還可以在短時間內(nèi)同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

特點

  • 在具有與VAAV-A系列相同的性能的同時,可以將設(shè)備的整體高度保持較低。
  • 氣動控制可實現(xiàn)各個方向的高精度位移和位置控制。
  • 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥,以應(yīng)對較大的移動負(fù)載。
  • 安全可靠的設(shè)計與CE標(biāo)記兼容。(控制器SAC-07)
  • 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

用途

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中,它被用作對付需要精細(xì)處理的晶片上的振動的對策,并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中,其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動,并立即對其進(jìn)行檢查或糾正,這有助于縮短節(jié)拍時間。
  • 在超精密機(jī)床中,它用于消除工作臺上的振動以進(jìn)行精密加工,同時支持大載荷的運動。

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-H超薄型

規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量(1個單位)尺寸(1個單位)
VAAV-1000-110H500-1700公斤240(寬)x 240(深)x 110(高)毫米
VAAV-2200-110H1100-3700公斤350(W)x 350(D)x 110(H)毫米
VAAV-4000-110H2100-7000公斤420(寬)x 420(深)x 110(高)mm
VAAV-7000-120H3600?12000公斤450(W)x 450(D)x 120(H)毫米
 


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